導言(yan)：光刻膠(jiāo)目前廣(guang)泛用于(yú)光電信(xin)息産業(yè)的微細(xi)圖形線(xiàn)路加工(gong)制作，光(guāng)刻工藝(yì)的成本(běn)約占整(zheng)個芯片(piàn)制造工(gong)⭕藝的35%，耗(hao)時占整(zhěng)個芯片(pian)工藝的(de)40%到60%，是半(ban)導體制(zhì)造中的(de)核心工(gong)藝。光刻(ke)膠材料(liao)約占芯(xīn)片制造(zao)材料總(zǒng)成本的(de)4%，是半✔️導(dao)體集成(cheng)電路制(zhi)造的核(he)心材料(liao)。
中國光(guang)刻膠市(shì)場增速(su)高于國(guó)際水平(píng)，據前瞻(zhān)産業研(yan)究院數(shu)據，2019年我(wǒ)國光刻(ke)膠本土(tu)供應量(liang)約70億元(yuán)，自2010年起(qǐ)複合🌐增(zeng)速達11%，遠(yuǎn)高于全(quán)球增速(sù)，但本土(tǔ)供應量(liang)在全球(qiu)㊙️占比僅(jin)10%左右，且(qiě)以已經(jīng)實現國(guo)産替代(dài)的主要(yao)是中低(di)端PCB光刻(kè)膠，LCD和半(ban)導體領(ling)域的光(guang)刻膠自(zì)給率極(jí)低。
光刻(kè)膠是圖(tú)形轉移(yi)介質，其(qí)利用光(guang)照反應(yīng)後溶解(jie)度不同(tong)将掩膜(mo)版圖形(xing)轉移至(zhì)襯底上(shang)，主要由(you)感光劑(ji)(光☔引發(fā)劑)、聚合(hé)劑☁️(感光(guāng)樹脂)、溶(rong)劑與助(zhu)劑構成(chéng)。
光刻膠(jiao)原材料(liào)主要爲(wèi)樹脂、溶(rong)劑和其(qi)他添加(jiā)劑。其中(zhōng)溶劑質(zhì)量占比(bi)最大，一(yī)般在80%以(yi)上。其他(tā)添加劑(jì)質量占(zhan)比雖不(bú)足5%，卻是(shi)決定光(guāng)刻膠特(te)有性質(zhì)的關鍵(jiàn)⛷️材料，包(bāo)括光敏(min)🛀🏻劑、表面(miàn)活性劑(jì)等材料(liào)㊙️。
在光刻(kè)工藝中(zhong)，光刻膠(jiao)被均勻(yun)塗布在(zai)矽片、玻(bō)璃和金(jin)屬等不(bú)🈲同的襯(chen)底上，經(jīng)曝光、顯(xiǎn)影和蝕(shí)刻等工(gong)序🐇将掩(yǎn)膜版上(shang)的圖形(xing)轉移到(dào)薄膜上(shàng)，形成與(yu)掩膜版(bǎn)✌️完全對(duì)應的幾(ji)何圖形(xíng)。
光刻膠(jiāo)可根據(ju)其下遊(you)應用領(lǐng)域分爲(wèi)半導體(tǐ)光刻膠(jiāo)、面闆光(guāng)刻膠和(he)PCB光刻膠(jiāo)三類。
半(bàn)導體光(guāng)刻膠
目(mu)前，KrF/ArF仍是(shi)主流的(de)加工材(cái)料。光刻(kè)技術随(sui)着集成(chéng)電💞路的(de)發展經(jing)曆了從(cóng)G線（436nm）光刻(kè)，H線（405nm）光刻(ke)，I線（365nm）光刻(ke)，到深紫(zǐ)外線DUV光(guang)刻（KrF248nm和ArF193nm）、193nm浸(jìn)沒式加(jiā)多重成(chéng)像技術(shù)（32nm-7nm），在到極(ji)端紫外(wai)線（EUV，＜13.5nm）光刻(kè)的發展(zhan)，甚至采(cǎi)用非光(guāng)學光刻(ke)（電子束(shù)曝🌈光、離(li)子束曝(pù)光），以相(xiang)應波長(zhǎng)爲感光(guāng)波長的(de)各類光(guang)💜刻膠也(ye)應用而(er)生。
光刻(kè)膠市場(chang)行業集(jí)中度高(gāo)。日本企(qǐ)業在半(ban)導體光(guāng)刻🔅膠🏃♀️領(ling)域占🧑🏾🤝🧑🏼據(ju)絕對優(yōu)勢。半導(dǎo)體光刻(ke)膠主要(yao)生産企(qǐ)業包括(kuo)日本東(dōng)京應化(huà)、JSR、住友化(huà)學、信越(yuè)化學；韓(hán)國東進(jin)世🚶♀️美肯(ken)；美國陶(tao)氏💚杜邦(bang)，其中日(rì)本企業(ye)占據約(yue)70%市場份(fèn)額。分産(chǎn)品看，東(dōng)京應化(hua)在g線/i線(xian)和Krf光刻(ke)膠領域(yù)居龍頭(tou)地位，市(shi)場份額(é)分别達(dá)到27.5%和32.7%。JSR在(zai)Arf光刻膠(jiao)領域市(shì)占率最(zui)高🌈，爲25.6%。
根(gēn)據富士(shi)經濟預(yu)測，2023年全(quan)球ArF、KrF膠産(chǎn)能有望(wàng)達到1870、3650噸(dūn)，市場規(guī)☔模🏒近49、28億(yì)👅元。日本(ben)光刻膠(jiāo)龍頭JSR、TOK包(bao)括光刻(kè)膠在内(nèi)的業務(wù)毛⚽利率(lü)約40%，其中(zhong)光刻膠(jiao)原料成(cheng)本約占(zhan)90%。
國内半(bàn)導體用(yòng)光刻膠(jiāo)生産企(qi)業包括(kuo)上海新(xin)陽、南大(da)👉光電、晶(jing)🏃♀️瑞股份(fèn)、北京科(kē)華、恒坤(kūn)股份。目(mu)前隻有(yǒu)北京科(kē)⛷️華、晶瑞(ruì)股份具(jù)備量産(chan)KrF光刻膠(jiao)能力，北(běi)京科華(hua)産品已(yi)爲中芯(xīn)國際供(gong)貨。上海(hai)新陽在(zai)建的19000噸(dun)/年ArF（幹法(fǎ)）光刻膠(jiāo)項目預(yu)計2022年達(da)産。
面闆(pan)光刻膠(jiao)
光刻膠(jiao)是LCD面闆(pan)制造的(de)關鍵材(cái)料，根據(jù)使用對(duì)象的不(bu)同，又可(kě)分爲RGB膠(jiāo)、BM膠、OC膠、PS膠(jiao)、TFT膠等。
面(miàn)闆光刻(ke)膠主要(yao)包括TFT配(pèi)線用光(guāng)刻膠、LCD/TP襯(chèn)墊料光(guāng)刻🏃♂️膠⁉️、彩(cǎi)色光刻(ke)膠及黑(hei)色光刻(kè)膠四大(da)類别。其(qi)中TFT配線(xiàn)用光⚽刻(ke)膠🚶用于(yu)對ITO布線(xiàn)，LCD/TP沉🐆澱料(liào)光刻膠(jiāo)用于使(shi)LCD兩個玻(bō)璃基闆(pǎn)間的液(yè)晶材料(liao)厚度保(bao)持恒定(dìng)。彩色光(guang)刻膠及(ji)黑色光(guāng)刻膠可(ke)💜賦予彩(cai)色濾光(guāng)片顯色(sè)功能。
面(miàn)闆光刻(ke)膠市場(chǎng)需要構(gou)成穩定(ding)，彩色光(guāng)刻膠需(xū)求量領(ling)先，預計(jì)2022年全球(qiú)銷售量(liang)将達22900噸(dun)，銷售額(e)将達8.77億(yì)美元。
TFT面(miàn)闆用光(guāng)刻膠、LCD/TP襯(chèn)墊料光(guang)刻膠、黑(hēi)色光刻(kè)膠銷售(shou)額2022年預(yù)🥵計分别(bie)達到3.21億(yì)美元、2.51億(yi)美元、1.99億(yi)美元。
根(gēn)據智研(yan)咨詢測(cè)算，2020年全(quan)球面闆(pǎn)光刻膠(jiao)市場規(guī)模将達(dá)到167億人(rén)♍民币，增(zeng)速維持(chi)在4%左右(yòu)。根據我(wǒ)們的測(cè)算，到💯2025年(nián)光刻膠(jiao)市場規(gui)模将達(da)到203億人(ren)民币。其(qi)中，伴随(sui)LCD産業中(zhong)心的轉(zhuǎn)移，我國(guo)LCD光刻膠(jiao)市場規(gui)模及國(guo)産化率(lü)有望逐(zhu)步提升(shēng)。
PCB用光刻(ke)膠
PCB光刻(kè)膠可根(gēn)據塗布(bu)方式分(fèn)爲UV固化(hua)油墨和(he)UV噴塗油(yóu)墨。目前(qián)國内🈲PCB油(you)墨供應(yīng)商已逐(zhu)步實現(xian)國産替(ti)代，容❗大(da)感光、廣(guang)信材🏃料(liào)等🏒企業(ye)已掌握(wo)PCB油墨關(guān)鍵技術(shu)。
國内對(dui)TFT光刻膠(jiao)和半導(dao)體光刻(ke)膠仍在(zai)起步探(tàn)索階段(duàn)。晶瑞股(gǔ)⭕份、雅克(kè)科技、永(yǒng)太科技(jì)、容大感(gan)光、欣奕(yì)華、中電(dian)❄️彩虹、飛(fei)凱材料(liào)在TFT光💚刻(kè)膠領域(yu)均有布(bù)局，其中(zhōng)飛凱材(cái)料、北旭(xu)電子規(gui)劃産能(neng)高達5000噸(dun)/年，雅克(kè)科技通(tōng)過收購(gou)LG化學下(xià)屬彩色(sè)光刻膠(jiāo)事業部(bù)切入此(ci)市🐉場，在(zài)渠道和(he)技術方(fāng)面具備(bèi)優勢。
光(guāng)刻膠等(děng)技術壁(bì)壘極高(gāo)的行業(yè)，實現技(ji)術層面(mian)的突破(pò)🍓是基礎(chǔ)、其次，需(xu)不斷改(gai)進工藝(yi)，滿足半(bàn)導體行(háng)業快速(sù)發展的(de)💋需要。
由(you)于光刻(ke)膠等行(hang)業認證(zhèng)時間較(jiào)長，客戶(hu)不會輕(qīng)易更換(huàn)👣供✨應商(shang)，因此進(jìn)入主流(liú)供應鏈(lian)是極其(qí)必要的(de)。國内光(guang)刻☔膠生(sheng)産商未(wei)來有望(wàng)把握中(zhōng)國半導(dao)體行業(yè)進口替(tì)代契機(jī)，實現快(kuài)速發📞展(zhan)。
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