12月13日(rì)，晶瑞電材(cai)在特定對(dui)象調研活(huo)動中表示(shi)，目前ArF(193)高端(duān)🏒光刻膠研(yán)發工作已(yǐ)正式啓動(dòng)，已完成光(guāng)刻機、勻膠(jiāo)顯影機、掃(sǎo)描電鏡、台(tái)🔱階儀等設(she)備購置，其(qí)中ASML1900Gi型光刻(ke)機設備正(zhèng)在積極調(diao)試中。同時(shi)公司正在(zai)積極開展(zhan)對上遊材(cái)料樹🐉脂單(dan)體及配方(fang)的研究。
公(gōng)司高端KrF(248)光(guāng)刻膠已完(wán)成中試，建(jian)成了中試(shi)示範線，已(yǐ)進入客戶(hu)測試階段(duàn)。近期已購(gòu)得KrF光刻機(ji)一台，可用(yòng)于KrF光刻膠(jiao)的曝光測(cè)試🈲，同時公(gong)司KrF光刻膠(jiāo)量産化生(shēng)産線正在(zai)積極建設(she)中。
據晶瑞(ruì)電材表示(shi)，此前，公司(si)已經購得(de)用于負膠(jiāo)、g 線、i線、ArF 等 4 台(tai)光刻機，再(zài)加之此次(cì)購得的KrF光(guang)刻機，公司(si)已經到位(wei)5台光刻機(ji)。
來源：晶瑞(rui)電材官網(wǎng)
此外據晶(jing)瑞電材透(tou)露，晶瑞(湖(hu)北)微電子(zi)材料項目(mu)一期目前(qián)🥰正🔴在設備(bei)安裝調試(shì)階段。
據悉(xī)，2025年12月，晶瑞(ruì)電材(原晶(jīng)瑞股份)發(fa)布公告稱(chēng)，拟在湖北(běi)省潛江市(shi)投資建設(shè)晶瑞(湖北(běi))微電子材(cái)料項🌏目，生(sheng)📐産光刻膠(jiāo)及其相關(guan)配套的功(gong)能性材料(liao)、電子級雙(shuang)氧水、電子(zi)級氨水🤞等(deng)半導📐體及(ji)面闆顯示(shì)用電子材(cai)料等，項目(mu)計劃總投(tou)資約爲人(rén)民币15.2億元(yuán)。
晶瑞電材(cái)在該調研(yán)活動中還(hai)表示，受益(yi)于我國半(ban)導體🐅材料(liào)🏃🏻♂️行業國産(chan)替代進程(cheng)提速，下遊(yóu)芯片廠商(shāng)需求增長(zhang)，當前公司(si)主導産品(pin)半導體級(ji)光刻膠及(ji)配套材❤️料(liao)、超淨🛀🏻高純(chun)試劑、锂電(diàn)🧡池材料等(děng)産銷兩旺(wang)。
未來随着(zhe)公司 KrF 光刻(kè)膠測試完(wán)成并逐步(bù)量産、ArF 光刻(ke)膠研發成(chéng)功并最終(zhong)量産，以及(ji)公司南通(tong)、陝西、四川(chuān)等基地新(xīn)增的✊高純(chun)硫酸、NMP、光刻(kè)膠等産品(pin)産能的逐(zhu)步釋放，有(you)望成爲公(gōng)司新的利(lì)潤增長點(diǎn)。
