據(jù)韓媒etnews報(bào)道，韓國(guó)東進半(ban)導體與(yu)三星電(diàn)子合作(zuo)，成🔞功開(kai)❌發了超(chāo)😍細半導(dao)體加工(gong)必不可(ke)少的材(cai)料——極紫(zi)外(EUV)光🈲刻(ke)膠💋(PR)。EUV光刻(ke)膠是因(yīn)其技術(shù)難度高(gāo)而完全(quan)依賴國(guó)外的産(chǎn)品，此次(ci)韓國通(tong)過國内(nèi)企業合(he)作實現(xiàn)了國産(chǎn)化，意味(wei)着日企(qǐ)💰壟斷的(de)打破。
東(dōng)進半導(dao)體華城(cheng)工廠鳥(niǎo)瞰圖，來(lái)源：etnews
12月13日(ri)，東進半(bàn)導體宣(xuān)布于近(jin)期通過(guò)了三星(xīng)電子的(de)EUV光刻膠(jiao)可靠性(xìng)測試，發(fa)布此消(xiao)息後，截(jie)至12月13日(rì)上午11時(shí)45分，東進(jin)半導體(tǐ)股😄價較(jiao)前一交(jiāo)易日上(shang)漲12.8%。
一位(wèi)熟悉此(ci)事的業(yè)内人士(shì)表示，“東(dōng)進半導(dao)體在其(qi)位于京(jing)🍓畿道華(huá)城的工(gōng)廠開發(fā)了 EUV光刻(kè)膠，并在(zài)三星電(diàn)子的華(huá)🌏城EUV生産(chan)線上對(duì)其進行(háng)了測試(shì)，并獲得(de)了最終(zhong)的可靠(kào)性認證(zhèng)。”
三星電(dian)子，
來源(yuan)：etnews
光刻膠(jiao)是半導(dǎo)體曝光(guang)工藝中(zhōng)的關鍵(jiàn)材料。它(tā)被施加(jiā)在晶片(piàn)上，當用(yòng)半導體(ti)曝光設(shè)備照射(she)光時，會(huì)發😄生化(huà)學反應(yīng)并改變(biàn)❄️物理特(tè)性。通過(guo)用顯影(yǐng)劑沖洗(xǐ)掉來繪(huì)制微電(diàn)路，隻留(liú)📧下必要(yào)的部分(fèn)。
在韓國(guo)，用于KrF和(he)ArF工藝的(de)光刻膠(jiao)已大量(liàng)生産，但(dàn)沒有💔用(yòng)于可以(yǐ)繪制更(gèng)精細電(diàn)路的EUV光(guāng)刻膠，大(dà)部分需(xu)要依賴(lai)日本進(jìn)口。此外(wai)⭐在2019年，日(rì)本與韓(hán)國爆發(fa)争議之(zhī)後曾經(jing)限制三(san)種重要(yao)的半導(dao)體材料(liao)對韓國(guo)的出💃🏻口(kou)，EUV光刻膠(jiāo)✊就是其(qí)中之一(yī)，爲此韓(han)國公司(sī)也加快(kuài)了EUV光刻(kè)膠的研(yán)👌發，東進(jìn)半導體(tǐ)也是其(qí)中之一(yi)。
東進半(ban)導體利(lì)用自有(yǒu)的基礎(chǔ)設施，如(ru)現有的(de)ArF曝光機(jī)和比利(lì)時半導(dǎo)體研究(jiū)所I MEC EUV設備(bei)，開始進(jin)行EUV光刻(kè)膠國産(chan)化研發(fa)。
今年早(zǎo)些時候(hou)，其加強(qiáng)了EUV光刻(ke)膠專家(jiā)并加速(sù)了技術(shù)開💃發。此(ci)外，三星(xing)電子積(jī)極支持(chi)EUV測試環(huan)境，以達(da)到♻️可以(yi)🧑🏽🤝🧑🏻在現場(chǎng)使用的(de)🚩質量水(shui)平。
目前(qian)尚不清(qing)楚三星(xing)電子是(shi)否會立(li)即将東(dōng)進半導(dao)體EUV光刻(ke)膠投入(ru)半導體(ti)生産線(xian)。正常情(qíng)況下，如(ru)果質量(liang)合格就(jiù)會投入(rù)量産線(xian)。因此，有(you)人預測(ce)最早可(ke)能在明(ming)年上半(ban)年供應(yīng)。三星電(dian)子和東(dōng)進半導(dao)體目前(qián)🔞都拒絕(jué)就本條(tiáo)新聞表(biǎo)态。三星(xīng)電子的(de)一位官(guan)員表示(shì)：“我們無(wu)法與合(hé)作公司(si)确認測(ce)試是否(fǒu)通過。”
就(jiu)該消息(xī)而言，三(sān)星與東(dong)進半導(dǎo)體研發(fa)的EUV光刻(ke)膠産🌈品(pin)隻是成(cheng)功通過(guo)了測試(shì)，距離量(liàng)産時間(jiān)還不确(què)⛹🏻♀️定，但這(zhè)一消息(xī)也表🌈明(míng)三星已(yi)經在EUV光(guang)刻膠方(fāng)面取得(dé)成功，量(liang)産将隻(zhi)是時🌈間(jian)問題。
