晶(jing)瑞電(dian)材：已(yi)啓動(dong)ArF（193）高端(duan)光刻(ke)膠研(yan)發，KrF光(guang)刻膠(jiao)完成(cheng)中試(shi)

　　11月22日(ri)，晶瑞(rui)電材(cai)在特(te)定對(dui)象調(diao)研活(huo)動中(zhong)表示(shi)，目前(qian)🏊🏿‍♀️ArF(193)高端(duan)光刻(ke)膠研(yan)發工(gong)作已(yi)正式(shi)啓動(dong)，已完(wan)成光(guang)刻機(ji)、勻膠(jiao)顯影(ying)機、掃(sao)描電(dian)鏡、台(tai)階儀(yi)等設(she)備購(gou)置，其(qi)中ASML1900Gi型(xing)光刻(ke)機👯🏾‍♂️設(she)備正(zheng)在積(ji)極調(diao)試中(zhong)。同時(shi)公司(si)正在(zai)積極(ji)開展(zhan)對上(shang)遊材(cai)料樹(shu)脂單(dan)體及(ji)💞配方(fang)的研(yan)究。

 

　　公(gong)司高(gao)端KrF(248)光(guang)刻膠(jiao)已完(wan)成中(zhong)試，建(jian)成了(le)中試(shi)示範(fan)線，已(yi)進入(ru)客🤶🏾戶(hu)測試(shi)階段(duan)。近期(qi)已購(gou)得KrF光(guang)刻機(ji)一台(tai)，可用(yong)于KrF光(guang)刻膠(jiao)的曝(pu)光測(ce)試，同(tong)時公(gong)司KrF光(guang)刻膠(jiao)量産(chan)化生(sheng)産線(xian)正在(zai)積極(ji)建設(she)中。

 

　　據(ju)晶瑞(rui)電材(cai)表示(shi)，此前(qian)，公司(si)已經(jing)購得(de)用于(yu)負膠(jiao)、g 線、i線(xian)、ArF 等 4 台(tai)🧑🏾‍🎄光刻(ke)機，再(zai)加之(zhi)此次(ci)購得(de)的KrF光(guang)刻機(ji)，公司(si)已經(jing)到😍位(wei)5台光(guang)刻機(ji)。

 

來源(yuan)：晶瑞(rui)電材(cai)官網(wang)

 

　　此外(wai)據晶(jing)瑞電(dian)材透(tou)露，晶(jing)瑞(湖(hu)北)微(wei)電子(zi)材料(liao)項目(mu)一期(qi)目前(qian)正在(zai)設備(bei)安裝(zhuang)調試(shi)階段(duan)。

 

　　據悉(xi)，2025年11月(yue)，晶瑞(rui)電材(cai)(原晶(jing)瑞股(gu)份)發(fa)布公(gong)告稱(cheng)，拟在(zai)湖北(bei)💑🏾省😺潛(qian)江市(shi)投資(zi)建設(she)晶瑞(rui)(湖北(bei))微電(dian)子材(cai)料項(xiang)目，生(sheng)産光(guang)刻膠(jiao)及其(qi)相關(guan)配套(tao)的功(gong)能性(xing)材料(liao)、電子(zi)級雙(shuang)氧水(shui)、電子(zi)級氨(an)水等(deng)半導(dao)體及(ji)面闆(pan)顯示(shi)用電(dian)子材(cai)料等(deng)🧑🏽‍❤️‍💋‍🧑🏻，項目(mu)計劃(hua)總投(tou)資約(yue)爲人(ren)民币(bi)15.2億元(yuan)。

 

　　晶瑞(rui)電材(cai)在該(gai)調研(yan)活動(dong)中還(hai)表示(shi)，受益(yi)于我(wo)國半(ban)導體(ti)💞材料(liao)行業(ye)國産(chan)替代(dai)進程(cheng)提速(su)，下遊(you)芯片(pian)廠商(shang)需求(qiu)增長(zhang)，當前(qian)公司(si)🏃🏻‍♀️主導(dao)産品(pin)半導(dao)體級(ji)光刻(ke)膠及(ji)配套(tao)材料(liao)、超淨(jing)高純(chun)試~劑(ji)、锂電(dian)池材(cai)料🏃🏿‍♀️‍➡️等(deng)産銷(xiao)兩旺(wang)。

 

　　未來(lai)随着(zhe)公司(si) KrF 光刻(ke)膠測(ce)試完(wan)成并(bing)逐步(bu)量産(chan)、ArF 光刻(ke)膠研(yan)發成(cheng)功并(bing)最終(zhong)量産(chan)，以及(ji)公司(si)南通(tong)、陝西(xi)、四川(chuan)💔等基(ji)👼🏾地新(xin)🛌🏻增的(de)高純(chun)硫酸(suan)、NMP、光刻(ke)膠等(deng)産品(pin)産能(neng)的逐(zhu)步釋(shi)放，有(you)望成(cheng)爲公(gong)司新(xin)的利(li)潤增(zeng)長點(dian)。